| 发明名称 | 气体传感器、使用其的集成电路器件及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种气体传感器，包括衬底、加热器、介电层、感测电极和气体敏感膜。衬底具有感测区域和围绕感测区域的周围区域，并且衬底还具有设置在感测区域中的开口。将加热器设置为至少位于开口上面，并且加热器的电阻率约大于6×10<sup>-8</sup>ohm·m。介电层设置在加热器上。感测电极设置在介电层上。气体敏感膜设置在感测电极上。本发明还提供了使用气体传感器的集成电路器件及其制造方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106324038A | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201510775915.4 | 申请日期 | 2015.11.13 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 郑钧文;朱家骅;赖飞龙;林详淇 |
| 分类号 | G01N27/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;李伟 |
| 主权项 | 一种气体传感器，包括：衬底，具有感测区域和围绕所述感测区域的周围区域，并且所述衬底还具有设置在所述感测区域中的开口；加热器，被设置为至少位于所述开口上面，其中，所述加热器的电阻率约大于6×10<sup>‑8</sup>ohm·m；介电层，设置在所述加热器上；感测电极，设置在所述介电层上；以及气体敏感膜，设置在所述感测电极上。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||