皮带定位装置及常压化学气相沉积设备

摘要

本发明提供了一种皮带定位装置和包括所述皮带定位装置的常压化学气相沉积设备，该皮带定位装置包括：基座；调节件，调节件的一端安装在基座上，并伸出基座，调节件的另一端设置有连接件；限位件，限位件包括限位轮轴及限位轮，限位轮轴的一端与连接件连接，并伸出连接件，且限位轮轴与调节件垂直，限位轮轴的另一端套设有限位轮；其中，旋转调节件，可使限位件沿调节件的轴向方向运动，旋转限位轮轴，可使限位轮相对连接件沿限位轮轴的轴向方向运动。该技术方案，通过在皮带上设置皮带定位装置，并利用限位轮卡合住皮带，从而限制了皮带的运动轨迹，避免了皮带的运动轨迹变形，从而有效地避免了掉片、叠片等现象的产生。

主权项

一种皮带定位装置，用于常压化学气相沉积设备，其特征在于，包括：基座；调节件，所述调节件的一端安装在所述基座上，并伸出所述基座，所述调节件的另一端设置有连接件；限位件，所述限位件包括限位轮轴及限位轮，所述限位轮轴的一端与所述连接件连接，并伸出所述连接件，且所述限位轮轴与所述调节件垂直，所述限位轮轴的另一端套设有所述限位轮；其中，旋转所述调节件，可使所述限位件沿所述调节件的轴向方向运动，旋转所述限位轮轴，可使所述限位轮相对所述连接件沿所述限位轮轴的轴向方向运动。