| 发明名称 | 薄膜晶体管及其制造方法、显示面板 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板，属于显示技术领域。薄膜晶体管包括：设置在衬底基板上的栅极；设置有栅极的衬底基板上设置有栅极绝缘层；设置有栅极绝缘层的衬底基板上设置有有源结构；设置有有源结构的衬底基板上设置有源漏极；其中，有源结构远离衬底基板的表面设置有凹孔，且部分源漏极嵌入凹孔内。本发明解决了TFT的能耗较大的问题，减小了薄膜晶体管的能耗，本发明用于薄膜晶体管。 | ||
| 申请公布号 | CN106328717A | 申请公布日期 | 2017.01.11 |
| 申请号 | CN201611046296.6 | 申请日期 | 2016.11.22 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 | 发明人 | 李云泽;杨妮;齐智坚;李少茹;顾可可 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人 | 滕一斌 |
| 主权项 | 一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：设置在衬底基板上的栅极；设置有所述栅极的所述衬底基板上设置有栅极绝缘层；设置有所述栅极绝缘层的所述衬底基板上设置有有源结构；设置有所述有源结构的所述衬底基板上设置有源漏极；其中，所述有源结构远离所述衬底基板的表面设置有凹孔，且部分所述源漏极嵌入所述凹孔内。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||