超声波指纹传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种超声波指纹传感器的制造方法。超声波指纹传感器的制造方法包括在绝缘基底上蚀刻出呈阵列排布的多个通孔以形成框架，及填充压电材料到通孔以形成与多个通孔对应的多个压电柱。此外，本发明还公开一种超声波指纹传感器。本发明实施方式的超声波指纹传感器及其制造方法，利用蚀刻方式在绝缘基底上形成框架，再在框架中填充压电材料形成压电柱，从而形成超声波指纹传感器。由于蚀刻的设备成本低且工艺简单，因此可以降低超声波指纹传感器的成本。

主权项

一种超声波指纹传感器的制造方法，其特征在于包括以下步骤：在绝缘基底上蚀刻出呈阵列排布的多个通孔以形成框架；及填充压电材料到所述通孔以形成与所述多个通孔对应的多个压电柱。