一种液相生长碳化硅的装置

摘要

本实用新型涉及碳化硅籽晶生长技术领域，具体为一种液相生长碳化硅的装置，该装置采用液压伸缩杆以及空心管状籽晶轴设计，由于滑槽的内腔对称设有第二液压伸缩杆且第二液压伸缩杆之间的中心线以及籽晶托架的中心线与坩埚中心线重合，保证了籽晶中心轴线与坩埚中心的快速对齐，节省操作时间，大大提高了工作效率；籽晶轴采用空心管状结构，减少了形变，延长了使用寿命。

主权项

一种液相生长碳化硅的装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的内部设置有保温层(2)，所述保温层(2)的内侧下方固定安装有加热装置(3)，所述加热装置(3)的上方通过支架(4)固定安装有坩埚(5)，所述保温层(2)的左右两侧均开设有槽孔(6)，所述槽孔(6)的底部固定安装有第一液压伸缩杆(7)，所述第一液压伸缩杆(7)之间设有连接板(8)，所述连接板(8)的内部开设有滑槽(9)，所述滑槽(9)的内部滑动安装有滑块(10)，所述滑块(10)的下方固定安装有连接件(11)，所述连接件(11)的下方连接有空心管状籽晶轴(13)，籽晶轴(13)下端连接有中心线与坩埚中心线重合的籽晶托架(15)；所述滑槽(9)的内腔对称设有第二液压伸缩杆(14)且第二液压伸缩杆(14)之间的中心线与坩埚中心线重合。