| 摘要 |
복수의 기판을 적재 가능한 회전 테이블과, 제1 가스 공급부와, 제2 가스 공급부를 구비하는 성막 장치를 이용한 성막 방법으로서, 상기 제1 및 제2 가스 공급부로부터 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키는 제1 공정과, 상기 제1 가스 공급부로부터 상기 제1 원소를 포함하는 제1 반응 가스를 공급하고, 상기 제2 가스 공급부로부터 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키고, 상기 기판 상에 상기 제1 원소를 포함하는 제1 산화막을 성막하는 제2 공정과, 상기 제1 및 제2 가스 공급부로부터 상기 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키는 제3 공정과, 상기 제1 가스 공급부로부터 상기 제2 원소를 포함하는 제2 반응 가스를 공급하고, 상기 제2 가스 공급부로부터 상기 산화 가스를 공급하여 상기 회전 테이블을 회전시키고, 상기 기판 상에 상기 제2 원소를 포함하는 제2 산화막을 성막하는 제4 공정을 포함한다. |
