| 摘要 |
투명 재료들 내에 연속 레이저 필라멘트들을 형성하기 위한 시스템들과 방법들이 설명된다. 초고속 레이저 펄스들의 버스트는 빔 웨이스트가 외부 플라스마 채널 없이 가공되는 재료 외부에 형성되는 것과 같이 초점이 맞춰지고,재료 내에 광학적 파괴를 야기하지 않고, 연속적인 필라멘트의 형성을 제공하기 위하여 재료 내의 확장된 영역 내에 충분한 에너지밀도가 형성된다. 이러한 방법에 따라 형성되는 필라멘트들은 10 ㎚를 초과하는 길이를 나타낼 수 있다. 일부 실시 예들에서, 재료 내의 입사 빔이 분포식 초점화를 생산하는 동안에 외부 빔 웨이스트를 생산하기 위하여 절제식 광학 초점화 소자가 사용된다. 클리빙/싱귤레이션 및/또는 마킹을 위하여 투명 기판들 내의 필라멘트 어레이들의 형성을 용이하게 하는 다양한 시스템들이 설명된다. 과정의 활성 제어를 용이하게 하는 피드백을 제공하기 위하여 필라멘트들의 광학 모니터링이 사용될 수 있다. |
