| 摘要 |
본 발명은 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 및 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법에 관한 것으로써, 특히, 카메라에 의해 측정되는 상부 패턴과, 하부 패턴이 상하방향으로 이격되게 배치되는 캘리브레이션 패널을 포함하여, 장치의 구조가 단순하여 제조단가가 낮아지고, 캘리브레이션 정밀도를 향상시킬 수 있고, 장치가 컴팩트하여 필요할 때마다 간편하게 캘리브레이션 할 수 있는 검사용 카메라의 캘리브레이션 장치 및 검사용 카메라의 캘리브레이션 방법에 관한 것이다. |
