| 摘要 |
본 발명은 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 알칼리 가용성 수지, 광중합성 모노머, 광중합 개시제, 하기 화학식 1로 표시되는 광중합 개시 보조제 및 용매를 포함함으로써, 감도 및 투과율이 뛰어나고 기계적 특성이 우수한 패턴을 얻을 수 있고, 가열, 노광 등의 고에너지 조건에서 화합물의 손실량이 적어 아웃가스 발생을 최소화할 수 있으므로, 노광 또는 프리베이크시에 마스크나 챔버의 오염을 억제할 수 있는 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. |
