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发明名称
A Board Loading and Transport Device
摘要
본 발명은 (회로)기판을 운송하고 이를 하나씩 공정 내로 이송시키는데 사용되는 기판 적재운송기에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 하여 옮기는 과정에서의 긁힘과 찍힘 등과 같은 불량을 방지할 수 있으며, 또한 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 공정과정에서도 기판의 긁힘이나 찍힘 등의 손상을 최소화하는 기판 적재운송기에 관한 것이다.
申请公布号
KR101694469(B1)
申请公布日期
2017.01.10
申请号
KR20160012622
申请日期
2016.02.02
申请人
박계정
发明人
박계정
分类号
H01L21/677;B65D19/42;B65D85/48;G02F1/13;H01L21/68
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
地址
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