| 摘要 |
본 고안은 직접분무식 수가습 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서, 분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드; 상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐; 상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브; 상기 매니폴드 상에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크; 및 상기 분무수 탱크의 회전을 방지하도록 상기 매니폴드에 지지되는 분무수 탱크 지지부재를 포함한다. 본 고안에 의하면, 분무수 헤더와 나선 체결된 분무수 탱크를 분무수 탱크 지지부재에 의해 매니폴드에 지지되게 하여 외부 충격에 의해 분무수 탱크가 회전되는 것을 방지하는 효과가 있다. |
