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发明名称
Stripper composition
摘要
본 발명은 박리속도가 빨라지며, 부식 방지성을 향상시킬 수 있는 스트리퍼 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고리형 카바메이트, 알칸올 아민 및 부식 방지제를 포함하는 것을 특징으로 한다.
申请公布号
KR20170002932(A)
申请公布日期
2017.01.09
申请号
KR20150092881
申请日期
2015.06.30
申请人
동우 화인켐 주식회사
发明人
최한영;고경준;김성식;이유진
分类号
G03F7/42;H01L21/311
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
主权项
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