| 摘要 |
본 발명의 일 측면에 따르면, 바닥면에 관통홀이 형성되는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내부에 위치하며 상기 관통홀과 연통되는 유입구가 형성되는 분사부; 상기 진공 챔버의 외부에 구비되며 상기 진공 챔버의 상기 관통홀과 연결되는 개구부를 구비하는 밸브 본체와, 상기 개구부를 개폐하는 기밀부를 포함하는 진공밸브; 증발물질이 수용하며, 승강에 따라 상기 개구부를 관통하여 상기 유입구와 착탈되는 도가니; 및 상기 도가니가 상기 유입구에 착탈되도록 상기 도가니를 승강시키는 승강부를 포함하는, 증착 장치가 제공된다. |
