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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
본딩 패드(301)의 주위에 공극(601)을 통하여 배선층(303)이 배치되며, 패시베이션막(401)은 본딩 패드(301)를 형성하는 배선층(303)의 막두께보다 얇고, 공극(601)의 폭은 패시베이션 막두께의 2배 이하로 한, 패시베이션막이 배선층보다 얇고, 본딩 시의 스트레스에 대한 내성이 높은 반도체 장치를 제공한다.
申请公布号
KR20170003453(A)
申请公布日期
2017.01.09
申请号
KR20160081644
申请日期
2016.06.29
申请人
에스아이아이 세미컨덕터 가부시키가이샤
发明人
시마자키 고이치
分类号
H01L21/768;H01L21/04;H01L21/28
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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