| 摘要 |
본 발명은 드라이필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 광중합 개시제, 알카리 현상성 바인더 폴리머, 분자 내에 적어도 2개의 에틸렌성 불포화 결합을 가지는 광중합성 화합물을 포함하고, 상기 광중합성 화합물은 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 드라이필름 포토레지스트용 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 본 발명의 조성물을 포함하는 포토레지스트는 화학식 1의 구조에 의해 단위 그람(g)당 반복 단위의 길이가 길어지면서 현상액에 대한 내성을 현저히 증가시키고, 박리속도를 빠르게 할 수 있다. |
