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发明名称 Wire sawing apparatus
摘要 실시 예의 와이어 쏘잉 장치는 잉곳을 절단하는 와이어와, 잉곳을 와이어로 운송하는 잉곳 운송부와, 와이어에 슬러리를 공급하는 노즐 및 와이어에 의해 쏘잉되는 잉곳의 상측부에 배치되어, 와이어에 의해 절단되는 잉곳의 측면으로부터 비산하는 슬러리 중 적어도 일부를 흡수하는 비산 슬러리 차단부를 포함한다.
申请公布号 KR101690246(B1) 申请公布日期 2017.01.09
申请号 KR20150011896 申请日期 2015.01.26
申请人 주식회사 엘지실트론 发明人 전지원;안상민
分类号 H01L21/48;H01L21/78;H01L23/00 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
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