| 发明名称 |
SLURRY PLASMA SPRAY OF PLASMA RESISTANT CERAMIC COATING |
| 摘要 |
본원에서는 극히-밀집되어 있고 극히-평활한 세라믹 코팅(ultra-dense and ultra-smooth ceramic coating)을 생산하는 방법이 개시된다. 방법은 세라믹 입자들의 슬러리를 플라즈마 분무기 내로 공급함을 포함한다. 플라즈마 분무기는 기판을 향해 유도되는 입자들의 스트림을 생성시켜서 접촉시에 기판 상에 세라믹 코팅을 형성시킨다. |
| 申请公布号 |
KR20170003519(A) |
申请公布日期 |
2017.01.09 |
| 申请号 |
KR20167002514 |
申请日期 |
2015.05.06 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
선, 제니퍼 와이.;카눈고, 비라자 피.;첸, 이카이;피로우즈도르, 바히드 |
| 分类号 |
C23C4/11;C04B35/50;C04B35/505;C04B35/622;C04B35/626;C23C4/02;C23C4/04;C23C4/134;C23C4/18;C23C24/10;C23C28/04 |
主分类号 |
C23C4/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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