| 摘要 |
스퍼터 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터 장치는, 챔버 내부의 증착위치에 놓인 기판을 향하여 증착물질을 제공하는 타겟과, 타겟의 내부에 마련되어 기판과의 사이에 증착을 위한 자기장을 발생시키는 마그네트 유닛을 포함하는 회전형 캐소드를 포함하며, 마그네트 유닛은, 베이스 폴 플레이트; 및 베이스 폴 플레이트에 결합되어 자기장을 발생시키며, 타겟의 표면에 형성되는 자기장을 변경가능하도록 타겟에 대향되는 일 영역의 형상이 변경가능한 복수의 마그네트부를 포함한다. |
