发明名称 Jig for X-ray Examination
摘要 엑스레이 촬영용 지그가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 엑스레이 촬영용 지그는 설치면과 평행한 제 1 회전축을 중심으로 회전하는 제 1 회전부 및 상면에 검사 대상물이 놓이며 상기 제 1 회전부 상에 설치되어 상기 제 1 회전부와 함께 회전하고, 상기 제 1 회전축과 수직인 제 2 회전축을 중심으로 회전하는 제 2 회전부를 포함한다.
申请公布号 KR101693614(B1) 申请公布日期 2017.01.09
申请号 KR20150051560 申请日期 2015.04.13
申请人 한국생산기술연구원 发明人 황정호;임채호;조인성;양진석
分类号 H01L21/66;G01N23/083;G01T1/16 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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