STRUCTURALLY CONTROLLED DEPOSITION OF SILICON ONTO NANOWIRES

摘要

리튬 이온 배터리 전극을 위한 나노구조물 및 제작 방법이 본 명세서에서 제공된다. 일부 실시예에서, 실리콘 코팅물로 코팅된 나노구조물 템플릿이 제공된다. 실리콘 코팅물은 논-컨포멀이고, 더 많은 다공층 및 논-컨포멀이고 더 많은 다공성 층 상에 컨포멀이면서 더 밀도 있는 층을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 두 개의 서로 다른 증착 공정, 가령, 논-컨포멀 층을 증착하기 위한 PECVD 공정 및 컨포멀 층을 증착시키기 위한 열적 CVD 공정이 사용된다. 나노구조물을 포함하는 애노드는, PECVD 방법 또는 열적 CVD 방법 단독으로 사용하여 제조된 애노드 보다 더 긴 사이클 수명을 가진다.