| 摘要 |
기판을 검사하기 위하여, 먼저 기판 상에 측정영역을 설정하고, 측정영역에 대한 기준 데이터 및 측정 데이터를 획득한다. 이어서, 측정영역에 대하여 변환조건을 설정하고, 기준 데이터 및 측정 데이터 사이의 왜곡량에 따른 변환관계를 획득한다. 다음으로, 비교용 특징객체가 변환관계를 충족하는지, 비교용 특징객체를 제외한 특징객체로부터 선택된 검증용 특징객체가 변환관계를 충족하는지 및 기판 상에 형성된 검사대상 패드가 변환관계를 충족하는지 검증하는 검증방법들 중 적어도 하나의 방법을 이용하여 변환관계의 유효성을 검증한다. 이어서, 변환관계가 유효하다고 판단된 경우 변환조건을 확정하고, 확정된 변환조건에 따라서 검사영역을 설정한다. 이에 따라, 왜곡을 보상한 정확한 검사영역을 설정할 수 있다. |
