发明名称 MULTIFUNCTIONAL OXIDE STRUCTURES HAVING DIMENSIONAL VARIATION IN SPATIAL DISTRIRBUTION OF DOPANTS AND METHOD OF CONTROLLING PROPERTIES OF OXIDES USING THE SAME
摘要 도펀트의 공간 분포에 있어서 차원 효과에 의하여 특성이 조절되어 가변적 물정을 갖는 다기능성 산화물 구조체, 및 상기 다기능성 산화물 구조체를 이용한 산화물의 특성 조절 방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20170003401(A) 申请公布日期 2017.01.09
申请号 KR20160075745 申请日期 2016.06.17
申请人 성균관대학교산학협력단 发明人 이재찬;최민수
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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