发明名称 |
PROCEDIMIENTO Y APARATO DE DIAGNOSTICO PARA CARACTERIZACION DE UN HAZ NEUTRO Y PARA CONTROL DE PROCESO CON EL MISMO |
摘要 |
Un aparato sensor (1500) para caracterizar un haz (1514), que comprende: un recinto (1502) alrededor de una zona central y que tiene una abertura (1536) construida para admitir un haz (1514) procedente de una cámara a presión reducida (1504) dentro de la zona central para caracterización; un área de percusión de haz dispuesta dentro de la zona central para recibir el haz (1514) y absorber energía del haz (1514), dicha área de percusión al menos parcialmente aislada térmicamente de dicho recinto (1502); un sensor de temperatura (1520) para medir un cambio de temperatura inducido en el área de percusión por el haz recibido (1514); un primer sensor de presión en comunicación fluida con la zona central para medir un cambio de presión dentro del recinto (1502) causado por el haz (1514) admitido a través de la abertura (1536); y un sistema de procesamiento para procesar el cambio de temperatura medido y el cambio de presión medido para determinar características del haz (1514). |
申请公布号 |
ES2596375(T3) |
申请公布日期 |
2017.01.09 |
申请号 |
ES20120843609T |
申请日期 |
2012.10.25 |
申请人 |
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发明人 |
KIRKPATRICK, Sean;KIRKPATRICK, Allen |
分类号 |
H01L21/44;H01J37/244;H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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