| 摘要 |
본 발명은 초순수 비저항 조절장치 및 이의 조절방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 초순수와 기체를 혼합하여 세정액을 공급받는 장치에서 사용되는 세정액을 제조하는 것으로 세정액에 함유된 기체량을 조절하기 위한 것이며, 초순수 유량정보에 대해 비저항조절수단에서 초순수에 혼합되는 기체량을 저장된 데이터에 따라 자동 조절하여 공급되도록 하며, 세정액 제조 후 세정액을 공급받는 장치에 공급되기전 비저항센싱수단에 의해 비저항값을 측정하여 저장부에 저장된 비저항값과의 일정치를 판단하여 세정액을 세정액을 공급받는 장치 측으로 공급하는 초순수 비저항 조절장치 및 이의 조절방법에 대한 것이다. |
