| 摘要 |
본 발명은 액체 CO를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을, 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 관한 것으로, 액체 CO를 단열 팽창시켜 승화성 드라이아이스 입자들을 생성하고 이 드라이아이스 입자들을 고속의 캐리어 가스에 실어서 세정 대상물의 표면에 분사하여 세정 대상물 표면을 세정하는 건식 세정기술에 있어서, 액체 이산화탄소 노즐의 끝단이 캐리어 가스 노즐의 끝단보다 상대적으로 외부로 더 돌출되어 캐리어 가스 노즐에 드라이아이스 입자의 성장을 방지하고, 액체 이산화탄소 노즐 끝단에 소수성 코팅을 하여 물방울 맺힘을 방지하여 불규칙한 드라이아이스 입자 발생을 방지함으로써, 세정 대상물의 표면 손상을 효과적으로 방지함은 물론 CO의 소모량을 대폭 줄여서 경제적인 측면에서도 매우 유리하다. 또한, 마이크로 액체 이산화탄소 노즐을 직렬 또는 병렬 배열하여 손쉽게 대면적 세정용 와이드 노즐로 변형이 가능하고, 대면적 세정에 적합한 와이드 노즐에 적용하더라도 CO소모량을 절감할 수 있는 효과가 있다. |
