| 摘要 |
바이오 센서의 나노 갭 패턴 형성 방법에 따르면 우선 기판 상에 산화막을 형성하고, 산화막 상에 제1 질화막을 형성한다. 제1 질화막을 부분적으로 등방성 식각하여 산화막을 노출하며 상부에서 하부로 갈수록 좁아지는 제1 갭을 갖는 제1 질화막 패턴을 형성한다. 제1 질화막 및 제1 갭의 측벽과 저면을 따라 제2 질화막을 형성한다. 제2 질화막을 식각하여 제1 갭의 측벽에 제1 갭보다 폭이 작은 제2 갭을 갖는 제2 질화막 패턴을 형성한다. 제2 질화막 패턴을 식각 마스크로 하여 산화막을 식각하여 제3 갭을 갖는 산화막 패턴을 형성함으로써 나노 갭 패턴을 형성한다. |
