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发明名称
Recycling process of waste stripper
摘要
본 발명은 스트리퍼 폐액 재생방법에 관한 것으로, 스트리퍼 폐액으로부터 용제 및 아민류를 증류하여 재사용함에 있어, 산소 제거제를 첨가한 후 증류함으로써 스트리퍼 폐액을 증류할 때 발생하는 암모니아 및 아미노산의 발생을 억제하여 악취 및 구리배선의 부식을 방지할 수 있는 특징이 있다.
申请公布号
KR20170002930(A)
申请公布日期
2017.01.09
申请号
KR20150092879
申请日期
2015.06.30
申请人
동우 화인켐 주식회사
发明人
최한영;김성식;고경준
分类号
G03F7/42;H01L21/02
主分类号
G03F7/42
代理机构
代理人
主权项
地址
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