| 摘要 |
기판 캐리어 시스템이 제공된다. 기판 캐리어 시스템은 기판 캐리어 본체, 전극 어셈블리, 지지 베이스, 및 제어기를 포함한다. 기판 캐리어 본체는 기판 지지 표면을 가지며, 그리고 전극 어셈블리가 기판 캐리어 본체에 배치된다. 전극 어셈블리는 복수의 측방향으로(laterally) 이격된 전극 세트들을 포함한다. 각각의 전극 세트는, 제 2 전극과 인터리빙되는(interleaved) 제 1 전극을 포함한다. 지지 베이스는 기판 캐리어 본체를 지지한다. 제어기는: 복수의 전극 세트들로부터 제 1 그룹의 전극 세트들 및 제 2 그룹의 전극 세트들을 선택하고; 제 1 그룹의 전극 세트들을 제 1 척킹 모드에서 동작시키고; 제 2 그룹의 전극 세트들을 제 2 척킹 모드에서 동시에 동작시키고; 그리고 적어도 하나의 전극 세트를 제 1 그룹으로부터 제 2 그룹으로 선택적으로 스위칭시키도록 구성된다. |
