HEATER POWER FEEDING MECHANISM AND STAGE TEMPERATURE CONTROL METHOD

摘要

기판을 배치하는 스테이지를 복수의 히터를 이용하여 존화하고, 존마다 온도 제어 가능한 히터 급전 기구로서, 1 조의 히터용 단자를 1 세그먼트로서, 세그먼트 단위로 상기 복수의 히터 중 어느 하나에 접속되는 복수 조의 히터용 단자와, 히터 배선과, 상기 히터 배선을 이용하여 상기 복수 조의 히터용 단자 간 중 적어도 어느 하나를 세그먼트 단위로 연결하는 배선 구조를 가지는 히터 급전 기구가 제공된다.