| 摘要 |
본 발명의 목적은 양호한 전기 특성들을 가진 매우 신뢰 가능한 반도체 장치와, 반도체 장치를 스위칭 소자로서 포함하는 표시 장치를 제공하는 것이다. 산화물 반도체층을 포함하는 트랜지스터에서, 산화물 반도체층의 적어도 하나의 표면측 상에 제공된 침형 결정군(needle crystal group)은 상기 표면에 수직한 c-축 방향으로 성장하고 상기 표면에 평행한 a-b 평면을 포함하고, 침형 결정군을 제외한 부분은 비정질 영역이거나 또는 비정질과 미결정들이 혼합된 영역이다. 따라서, 양호한 전기 특성들을 가진 매우 신뢰 가능한 반도체 장치가 형성될 수 있다. |
