| 摘要 |
본 발명은 전자 기기 특성에 영향을 주지 않을 정도로 변색층의 기체화 또는 플라스마 처리에 의한 변색층의 미세한 파편의 흩어짐이 억제됨과 함께 우수한 열 저항을 나타내는, 플라스마 처리에 의해 색이 변하는 플라스마 처리 감지 표시기를 제공한다. 특히, 플라스마 처리에 의해 색이 변하는 변색층을 포함하고, 상기 변색층은 간단한 물질 형태로 Mo, W, Sn, V, Ce, Te, 및 Bi으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 금속 원소 및/또는 Mo, W, Sn, V, Ce, Te, 및 Bi 으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 금속을 포함하는 무기 화합물을 포함하는 플라스마 처리 감지 표시기를 제공한다. |
