| 摘要 |
본원에서 개시되는 실시예들은 일반적으로, 기판 및 선택적으로 마스크(mask)를 클램핑하기에 적합한 기판 캐리어 시스템에 관한 것으로, 기판 캐리어 시스템은 제거 가능한 보호 층들의 스택(stack)을 갖는다. 일 실시예에서, 기판 캐리어 본체의 외측 장착 표면에 배치된 보호 층 스택을 갖는 기판 캐리어 본체를 포함하는 기판 캐리어 시스템이 제공된다. 기판 캐리어 본체는 프로세싱 챔버의 안과 밖으로 운송되도록 구성된다. 보호 층 스택은, 기판을 상부에 척킹하기 위한 "새로운" 표면을 노출시키기 위해 필요에 따라 제거될 수 있는 복수의 제거 가능한 보호 층들을 갖는다. |
