发明名称 Offene Plasmalampe zur Bildung eines mittels Licht aufrechterhaltenen Plasmas
摘要 Eine offene Plasmalampe enthält einen Hohlraumabschnitt. Ein Gaseinlass und Gasauslass des Hohlraumabschnitts sind angeordnet, um Gas durch den Hohlraumabschnitt fließen zu lassen. Die Plasmalampe weist auch eine Gasversorgungsanordnung auf, die fluide mit dem Gaseinlass des Hohlraumabschnitts gekoppelt und konfiguriert ist, Gas zu einem inneren Volumen des Hohlraumabschnitts zu liefern. Die Plasmalampe umfasst auch eine Düsenanordnung, die fluide mit dem Gasauslass des Hohlraumabschnitts gekoppelt ist. Die Düsenanordnung und Hohlraumabschnitt sind derart angeordnet, dass ein Volumen des Gases von einer Pumpquelle eine Beleuchtung zum Pumpen empfängt, wobei das mittels Licht aufrechterhaltene Plasma eine Breitbandstrahlung emittiert. Die Düsenanordnung ist konfiguriert, um eine konvektive Gasströmung aus dem Inneren des Hohlraumabschnitts zu einem Bereich außerhalb der Hohlraumabschnitt bereitzustellen, so dass ein Teil des aufrechterhaltenen Plasmas aus dem Hohlraumabschnitt durch den Gasstrom entfernt wird.
申请公布号 DE112015001498(T5) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 DE20151101498T 申请日期 2015.03.27
申请人 KLA-Tencor Corporation 发明人 Delgado, Gildardo;Wilson, Lauren;Chimmalgi, Anant;Bezel, Ilya;Shchemelinin, Anatoly;Derstine, Matthew W.
分类号 H01J65/04 主分类号 H01J65/04
代理机构 代理人
主权项
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