发明名称 載置用部材およびその製造方法
摘要 本発明の一態様に係る載置用部材(1)によれば、対象物(2)が載置される載置部(3)を具備した基体(4)と、載置部(3)の少なくとも一部を被覆した被膜(5)とを備える。載置部(3)は、底面(8)と、底面(8)から突出した複数の突起部(9)と、複数の突起部(9)と同じ高さで底面(8)から突出しているとともに複数の突起部(9)を取り囲んだ環状凸部(10)とを有する。被膜(5)は、突起部(9)の頂面(11)を被覆した第1領域(15)と、環状凸部(10)の頂面(13)を被覆しているとともに第1領域(15)よりも厚みが小さい第2領域(16)とを有する。
申请公布号 JPWO2014084060(A1) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 JP20140550122 申请日期 2013.11.14
申请人 京セラ株式会社 发明人 堀内 雅彦
分类号 H01L21/683;G03F7/20 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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