| 摘要 |
【課題】鏡面反射表面の少なくとも一つの表面形状特性を測定するための偏光系コヒーレント勾配検知システムおよび方法を提供する。【解決手段】試料表面８２から第１の回転偏光レーザ光線２２ＲＨを反射して、表面形状情報を有する第２の回転偏光レーザ光線２２ＬＨを形成し、線形偏光反射レーザ光線２２Ｙに変換し、線形偏光反射レーザ光線の第１の部分および第２の部分を、第１の中継アセンブリ１００および第２の中継アセンブリ２００へそれぞれ向ける。第１の中継アセンブリおよび第２の中継アセンブリは、軸上で離間した回折格子対１１０、２１０をそれぞれ使用し、回折格子対は、第１の画像センサ１５０および第２の画像センサ２５０のそれぞれにおいて、第１の干渉パターンおよび第２の干渉パターンをそれぞれ生成し、第１の画像センサおよび第２の画像センサからの第１の信号Ｓ１および第２の信号Ｓ２は、処理され、表面形状特性を決定する。【選択図】図１ |
