| 摘要 |
電子回路のためのギャップを伴うＸＹ座標系におけるピクセルの２Ｄアレイを有するイメージングセンサが提示される。さらに、かかるセンサでサンプルの斜め断面をイメージングするためのスキャンイメージングシステムが提供される。特にイメージングセンサが傾斜構成であるとき、このセンサは特に有利である。センサはセンサの感光性エリアにおいてピクセルの光活性部分を最大化することを可能にし、これは最大化されたフィルファクタにつながる。さらにこれは非常に感光性のセンサにつながり、従ってマイクロレンズが回避され得る。イメージングセンサの１つ若しくは複数のギャップは、より多くの回路がイメージングセンサ上でギャップ内に位置付けられ得るので、高速読み出しも容易にする。 |
