電子顕微鏡観察用の試料保持チップ

摘要

【課題】液体中の試料の観察を容易にする電子顕微鏡観察用のチップを提供する。【解決手段】電子顕微鏡観察用のチップ３８は、試料ステージの付近の開口部に置かれ、貫通孔５２を有する基板４８と、貫通孔５２を塞ぎ、電子線に対して透過性を有する薄膜５０とを備える。試料４３及び液体４６は薄膜５０の上に保持する。薄膜５０は、表面の一部に複数の凸部を有する。また、薄膜５０は、表面の一部に撥水性領域を有し、表面の一部の周囲の領域は、親水性を有する。【選択図】図２