ウレタン（メタ）アクリレートおよびドライフィルムレジスト用感光性樹脂組成物

摘要

【課題】現像液中の凝集物の発生を抑制し、泡立ちを抑えられるドライフィルムレジスト用感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】式（１）で示される、ドライフィルムレジスト用感光性樹脂組成物用ウレタン（メタ）アクリレート。【化１】（Ｒ１は、水素原子またはメチル基を表す。Ｅ−Ｏはオキシエチレン基を表す。Ｐ−Ｏはオキシプロピレン基を表す。ｍは、オキシエチレン基の平均付加モル数を表し、ｎは、オキシプロピレン基の平均付加モル数を示し、ｍ＝４〜１５、ｎ＝３〜６、かつｍ／ｎ＝１．０〜４．０である。）【選択図】 なし