Electrostatic Chuck and Repair Method Thereof

摘要

본 기술의 일 실시예에 의한 정전 척은 지정된 위치에 복수의 핀홀이 형성되며, 외주에 지정된 높이의 단차부를 구비하는 하부 플레이트 및 하부 플레이트 상면에 체결되고, 하부 플레이트의 상면과 대응하는 평판부와, 단차부에 결합되는 측면부 및, 핀홀 내에 체결되는 핀홀 보호부를 구비하는 상부 플레이트를 포함할 수 있다.