| 摘要 |
【課題】テープに皺が形成されていない状態で、保持テーブル上でテープを保持する。【解決手段】分割予定ラインＳを備えるウエーハＷの表面Ｗａに保護テープＴ２を貼着し、分割予定ラインＳに沿って分割されたウエーハＷを搬入パッド６０が保持して保持テーブル７５に搬入し、保持テーブル７５が保護テープＴ２を介してウエーハＷを保持するウエーハの保持方法であって、搬送パッド６０が、保護テープＴ２が貼着されたウエーハＷを保持して保護テープＴ２を加温し軟化させて保持テーブル７５に搬入する搬入工程と、軟化した状態の保護テープＴ２を保持テーブル７５が保持する保持工程とを含むものとした。【選択図】図８ |
