发明名称 マイクロピンとマイクロソケット、及びその製造方法、並びにマイクロピンとマイクロソケットを用いたプローブカード
摘要 【課題】マイクロピンを高精度に配置することができ、マイクロピンが摩耗や変形で使用不能になった場合も、容易にリペアする。【解決手段】先端に形成された接触子16と、前記接触子を支持するプラグ部17とを有するマイクロピン15と、前記マイクロピンを着脱可能に保持するマイクロソケット2とを備え、前記マイクロソケットは、上下に貫通する開口部9,12が形成され、前記開口部の位置において変形可能な基板5と、前記基板上において前記マイクロピンのプラグ部を挟持可能に設けられたリセプタクルコンタクト4とを有し、前記リセプタクルコンタクトは、複数の狭持部材により構成され、前記開口部は、少なくとも前記複数の狭持部材の間に形成されている。【選択図】図3
申请公布号 JP2017003327(A) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 JP20150115147 申请日期 2015.06.05
申请人 株式会社 アルファー精工 发明人 植竹 操;工藤 緯;前田 龍
分类号 G01R1/06;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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