| 摘要 |
【課題】パーティクルの巻き上げによる基板の清浄度の低下を抑えることが可能な搬送装置を提供する。【解決手段】基板を収容する容器を開放する開放手段と、基板を保持する可動ハンドと、可動ハンドにアームを介して連結された固定部と、を有し、開閉手段により開放された前記容器内の前記基板を処理室に搬送する搬送手段と、搬送手段により搬送されている前記基板の周囲に清浄化された気体の流れを形成する気流形成手段と、を備え、処理室は、開閉手段および固定部に対して、搬送手段が容器から前記基板を引き出す第１方向に直交する第２方向に離れて配置され、搬送手段の固定部は、搬送手段による基板の搬送経路の鉛直上方および鉛直下方から離れた位置に配置されている。【選択図】図１ |
