| 摘要 |
【課題】複数のシャフトを除電することができる軽量の搬送装置を提供すること。また、ガラス基板の重量により生じる撓みの小さな搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送装置１は、アルミニウムを含んで構成される複数の搬送シャフト１０、複数の搬送シャフト１０のそれぞれを回転可能に支持する支持装置２０、及び複数の搬送シャフト１０のそれぞれをアースに接続する導電部材３０を含んで構成される。導電部材３０により複数の搬送シャフト１０をアースに接続することで、それら複数の搬送シャフト１０を除電することができる。それにより、ガラス基板５０のように帯電し得る被搬送体を搬送することが可能となる。また、２つの支持部材２２と２４の高さを調整して搬送シャフト１０を反らせ、ガラス基板５０の重量により生じる撓みを小さくすることができる。【選択図】図１ |
