发明名称 研削ホイール
摘要 【課題】研削屑の堆積を防止できる研削ホイールを提供する。【解決手段】研削装置のマウントに装着して使用される研削ホイール(2)であって、マウントに接する固定端面(4a)側から反対の自由端面(4b)側まで貫通する開口部(4c)が形成された円環状の基台(4)と、基台の自由端面に環状に配列された砥石部材(6)と、を備え、基台の自由端面側には、開口部を塞ぐ保護部材(8)が設けられている。【選択図】図1
申请公布号 JP2017001140(A) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 JP20150118201 申请日期 2015.06.11
申请人 株式会社ディスコ 发明人 加藤 正樹;野村 光広;鈴木 志織;礒崎 雅弘;椛澤 孝行
分类号 B24D7/08;H01L21/304 主分类号 B24D7/08
代理机构 代理人
主权项
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