发明名称 Akustische Filmvolumenresonator-Vorrichtungen (FBAR-Vorrichtungen) ohne Hohlraum
摘要 Eine akustische Filmvolumenresonator-Vorrichtung (FBAR-Vorrichtung) (100, 200), die folgende Merkmale aufweist: ein Substrat (102); einen akustischen Bragg-Reflektor (180, 280) über dem Substrat (102), wobei der akustische Bragg-Reflektor (180, 280) eine metallische Bragg-Schicht (182, 282) und eine zu der metallischen Bragg-Schicht (182, 282) benachbarte Kunststoff-Bragg-Schicht (184) umfasst; ein piezoelektrisches Element (116, 216) über dem akustischen Bragg-Reflektor (180, 280); und eine fernseitige Elektrode (114, 214) über dem piezoelektrischen Element (116, 216), wobei die FBAR-Vorrichtung (100) eine Bandpasscharakteristik aufweist, die eine Mittenfrequenz aufweist, wobei zumindest eine der Bragg-Schichten (182, 184, 186, 188) eine nominelle Dicke aufweist, die gleich einem Viertel der Wellenlänge in dem Material der jeweiligen Bragg-Schicht eines akustischen Signals ist, dessen Frequenz gleich der Mittenfrequenz ist, und wobei die metallische Bragg-Schicht (182, 186) dünner ist als die nominelle Dicke.
申请公布号 DE112004002041(B4) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 DE20041102041T 申请日期 2004.10.29
申请人 Avago Technologies General IP (Singapore) Pte. Ltd. 发明人 Bradley, Paul A.;Larson III, John D.;Ellis, Stephen L.;Oshmyansky, Yury
分类号 H03H9/00;H03H9/02;H03H9/13;H03H9/15;H03H9/54;H03H9/58;H03H9/60 主分类号 H03H9/00
代理机构 代理人
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