摘要 |
Eine akustische Filmvolumenresonator-Vorrichtung (FBAR-Vorrichtung) (100, 200), die folgende Merkmale aufweist: ein Substrat (102); einen akustischen Bragg-Reflektor (180, 280) über dem Substrat (102), wobei der akustische Bragg-Reflektor (180, 280) eine metallische Bragg-Schicht (182, 282) und eine zu der metallischen Bragg-Schicht (182, 282) benachbarte Kunststoff-Bragg-Schicht (184) umfasst; ein piezoelektrisches Element (116, 216) über dem akustischen Bragg-Reflektor (180, 280); und eine fernseitige Elektrode (114, 214) über dem piezoelektrischen Element (116, 216), wobei die FBAR-Vorrichtung (100) eine Bandpasscharakteristik aufweist, die eine Mittenfrequenz aufweist, wobei zumindest eine der Bragg-Schichten (182, 184, 186, 188) eine nominelle Dicke aufweist, die gleich einem Viertel der Wellenlänge in dem Material der jeweiligen Bragg-Schicht eines akustischen Signals ist, dessen Frequenz gleich der Mittenfrequenz ist, und wobei die metallische Bragg-Schicht (182, 186) dünner ist als die nominelle Dicke. |