柔軟なマイクロ加工のトランスジューサ装置及びその製造方法

摘要

マイクロ加工のトランスジューサアレイの柔軟性を与える技術及び構造。一実施形態において、トランスジューサアレイは、複数のトランスジューサ素子を備え、その各々は、圧電素子と、支持層内又はその上に配置された１つ以上の電極とを含む。支持層は、ポリマー材料を含む柔軟な層に接合され、トランスジューサアレイの柔軟性は、柔軟な層の全厚みから一部分生じる。別の実施形態では、トランスジューサアレイの柔軟性は、そこに形成される１つ以上の撓み構造体から一部分生じる。【選択図】 図２Ｋ