| 摘要 |
【課題】被照射物に対する偏光光の照射状態を適正に管理し、品質が低下した被照射物の製造を抑える。【解決手段】被照射物に偏光光を照射する照射面が設けられた照射ユニットと、被照射物が搭載されるステージと、ステージ上の被照射物が、照射面から偏光光が照射される照射領域を照射面と平行に通過するようにステージを搬送する搬送機構と、搬送機構によって搬送されるステージの移動中に、ステージまたは被照射物の位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段が検出した検出結果に基づいて所定の制御を行う制御手段と、を備える。【選択図】図１ |
