发明名称 微細構造体の製造方法及びナノインプリント用光硬化性組成物
摘要 本発明の目的は、モールドに離型処理を施すことなく、離型性良く連続転写が可能な微細構造体の製造方法を提供することにある。本発明の微細構造体の製造方法は、基板と表面に凹凸パターンが形成されたモールドとで、液状の光硬化性被転写材層を挟み込んで成形した後、前記被転写材層を露光して光硬化層とし、次いで、前記光硬化層から前記モールドを離型して微細構造体を製造する方法であって、前記モールドが、シロキサン結合を有する有機高分子化合物より構成されたモールドであり、前記被転写材層が、カチオン重合性化合物(A)及び光酸発生剤(B)を含む光硬化性組成物により形成された層であり、前記光硬化性組成物が、カチオン重合性化合物(A)として、下記式(I)で表される化合物、及び下記式(II)で表される化合物からなる群より選択された少なくとも1種の化合物を含むことを特徴とする。【化1】【化2】
申请公布号 JPWO2014084030(A1) 申请公布日期 2017.01.05
申请号 JP20140550109 申请日期 2013.11.11
申请人 株式会社ダイセル 发明人 湯川 隆生;三宅 弘人;水田 智也
分类号 H01L21/027;B29C59/02;B81C1/00;C08G59/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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