Plasmaquelle, Prozessanordnung und Verfahren

摘要

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Plasmaquelle (100a, 200a, 600) Folgendes aufweisen: einen Plasmaerzeugungsbereich (111); und eine Elektrode (102) zum Versorgen des Plasmaerzeugungsbereichs (111) mit elektrischer Energie; wobei die Elektrode (102) zumindest eine Vertiefung (104) aufweist, in welche der Plasmaerzeugungsbereich (111) zumindest teilweise hinein erstreckt ist; wobei die Vertiefung (104) entlang einer ersten Richtung eine größere Ausdehnung (101d) aufweist als entlang einer zweiten Richtung, die quer zu der ersten Richtung ist; und wobei die Vertiefung (104) entlang der ersten Richtung abgeschrägt ist.