| 摘要 |
高さ方向の形状が異なるパレットを搬送する場合であっても、容易に変更作業を行うことができる基板搬送装置を提供する。両側が支持部材１２の上端に固定されたパレット押さえ部材１５と、支持部材１２の内側に沿って設けられたコンベアベルト１３ａと、上下方向に移動可能に設けられたクランプ支持部材１７と、両側の下端に形成された被載置面１６ｗ、１６ｘでコンベアベルト１３ａ上に載置されて搬送され、両側下面に被押面１６ｙが形成され、複数の基板９９９が搭載されるパレット１６と、クランプ支持部材１７上に設けられ、上端で被押面１６ｙを押し上げるクランプ部材１４と、被載置面１６ｗ、１６ｘと被押面１６ｙとの第一離間距離αに応じて、クランプ支持部材１７上面とクランプ部材１４上端の第二離間距離βを調整可能なブロック１８と、を有する。 |
